| 著者名 | 小宮宗治 |
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| 出版社 | 講談社 |
| 出版年月 | 1992年12月 |
| 参考価格 | ￥876 |
| 頁数 | ３２０ｐ |
| ISBN | 978-4-06-132948-5 |
| 内容 |
【要旨情報】 今日の半導体産業の超ＬＳＩ素子では、１ミリメートルの１万分の１単位の大きさのチリが、２０センチメートル程度のシリコン基盤の上に１個も見つからないという、気の遠くなるような清浄さが目標とされています。そのためにも、原子の数を１つ１つ数えるのに等しいレベルで固体表面を観察し、分析する技術が要求されます。ことは半導体産業に限りません。ナノテクノロジーの申し子のようなこれらの表面分析法について、その基本原理から用途まで、わかりやすく紹介しましょう。 |
| 目次 |
【目次】 第１章 序にかえて―ナノテクノロジーの世界へ 第２章 微小領域の表面世界をさぐるオージェ電子分光法 >> もっと見る
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| ジャンル |
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